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HORIBA质量流量控制器

SEC-400MK3质量流量控制器

产品分类:HORIBA质量流量控制器

产品介绍

 

概要
MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下彻底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。最适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
特征
  • 搭载热感阀
  • 追求成本优势、实现成本降低

規格

 

SEC-400MK3

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-500MK3

 

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5?100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

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