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HORIBA质量流量控制器

SEC-8000 高温质量流量控制器

产品分类:HORIBA质量流量控制器

产品介绍

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

  • 适用于高温:可满足150℃烘焙
  • 产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
  • 超清洁类型:接气部全不锈钢构造
  • 最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

規格

 

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?120℃

SEC-8440LSL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?35℃

SEC-8450LSL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?35℃

SEC-8455LSL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?35℃

SEC-8460LSL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?35℃

SEC-8440LSM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?60℃

SEC-8450LSM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?60℃

SEC-8455LSM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?60℃

SEC-8460LSM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?60℃

SEC-8440LSH

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?80℃

SEC-8450LSH

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?80℃

SEC-8455LSH

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?80℃

SEC-8460LSH

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?80℃

SEC-8440SL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

SEC-8450SL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

SEC-8455SL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

SEC-8460SL

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

SEC-8440SM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?120℃

SEC-8450SM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?120℃

SEC-8455SM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?120℃

SEC-8460SM

 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?120℃

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