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HORIBA质量流量控制器

SEC-E400J质量流量控制器

产品分类:HORIBA质量流量控制器

产品介绍

 

概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统,也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器,则可完全符合制程要求。 
特征
  • 采用金属避风垫圈
可对应腐蚀性气体
  • 搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载

規格

?SEC-E400J

 

气体连接部材質

SUS-316L,Teflon

磁性不锈钢材质阀形式

非通電時:闭标准

流量范围

5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(全量程)

流量精度

±1.0% F.S.(全量程)

?SEC-E450J

 

气体连接部材質

SUS-316L,Teflon

磁性不锈钢材质阀形式

非通電時:闭标准

流量范围

20/30 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(全量程)

流量精度

±1.0% F.S.(全量程)

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