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HORIBA质量流量控制器

SEC-N112 数字式质量流量控制器

产品分类:HORIBA质量流量控制器

产品介绍

概要

基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验,我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。 
气体被广泛地运用于各种工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,这一获得巨大关注的再生能源项目得到了全球各地的支持;到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中,对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率,进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为一流的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

型号

 

10sccm
10SLM
20SLM
100SLM
200SLM
SEC-N102
SEC-N112
SEC-N122
SEC-N132
SEC-N142
SEC-N104
SEC-N114
SEC-N124
SEC-N134
SEC-N144
SEC-N106
SEC-N116
SEC-N126
SEC-N136
SEC-N146

特征

HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。

型号

选择信号传输模式

选择电源

SEC-N102 系列

数字式信号传输

?RS485 F-NET协议

模拟式信号传输

?0~5VDC

±15VDC (±5%)

HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品

SEC-N104 系列

DeviceNet 信号传输

遵照ODVA标准

SEC-N106 系列

PROFIBUS 信号传输

模拟式信号传输

?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA

遵照PROFIBUS标准
24VDC(13 to 32VDC)

 此型号适合各种小流量到大流量的需要。

流量控制范围为标定满量程的2100%

高精度

■高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高,各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

 

整个流量控制范围内都可实现高响应速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可变PID运算法则:1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了最新开发的“可变PID系统”,对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时,可变PID将根据当下的设定点不断变化,其PID参数也将随之被优化。              

多气体、多量程的解决方案

■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 最新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

致力于成本考量,运用新的设计概念

作为N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意,在没有通知的情况下,可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改,但不会牵涉到改变产品的规格。

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