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Aera质量流量控制器

FC-R7700CD质量流量计

产品分类:Aera质量流量控制器

产品介绍

底价供应FC-R7800CD质量流量计

?

FC-R7800系列不仅能提供高精度流量控制。
采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE独特电气信号可选方案,可方便对用户使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。

特点:

◆高精度

◆高信赖和可靠性

◆耐腐蚀设计

◆采用金属密封材质

◆VCR、Swagelok互换的气路接口

◆10SCCM-200SLM满量程范围

◆方便的互换性

◆高速应答***的统一性,目前世界上有大约7万只在运行中的产品,内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉?

◆方便的互换性

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技术参数:
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性能指标

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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FC-R7820CD/FC-R7820D系列

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满量程范围

?

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

响应时间

满流量的±2%范围内,小于2秒

满流量的±2%范围内,小于3秒

精度

≤±1%满量程

≤±2%满量程

线性镀

≤满量程±0 5%

≤满量程±0 5%?#1

≤满量程±1%

重复性

????????????????????????? ≤满量程±0.2%

泄漏率

??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

控制范围

??????????????????????????满流量的2%-5%? #2

压差

49Kpa-275Kpa

?

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

?

正常工作压

?????????????????????????? 490Kpa

?

进气压力

?????????????????????????? 980Kpa

?

温度范围

?

?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

?

输入电源

?

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

输入信号

0-5 VDC

输出型号

0-5 VDC

控制阀形式

常开或常闭电磁阀

密封件

金属密封

材质

316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶)

标准接口

1/4"VCR和Swagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

#1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%

#2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-***

#3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa5

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