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富士金Fujikin流量计

富士金Fujikin 质量流量计

产品分类:富士金Fujikin流量计

产品介绍

富士金气体质量流量计T1000系列
具有高精度、快速响应、价格低廉、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、阳能电池等行业,还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求
规格参数
1. 多气体多量程(MG/MR)功能
2. 可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更,从10sccm至50slm
3. 高精度:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保证范围15-35℃)
4. 再现性:±0.2% F.S
5. 强耐腐蚀性
6. 输入输出信号:模拟(0-5VDC)/RS-485、Device Net
7. 全量程范围、响应速度快,≤1sec
8. 密封材质:金属密封/橡胶密封
9. 阀门种类:NO常开NC常闭型
10. ***大动作压力:400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐压:1MPa
12. 使用温度:5-50℃
13. 金属密封外部泄漏率:1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡胶密封外部泄漏率:1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材质:SS316L不锈钢
16. 接口方式:1/4vcr金属面密封连接,卡套连接

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